Sputterziler aus héichreinem Kupfer – Quadratisch (4N-6N)
Sputterziel fir héichreine Koffer – Prozess- a Qualitéitssécherungserklärung
Eis quadratesch Kupfersputterziler ginn no den héijen Standarden hiergestallt, déi fir eng zouverlässeg Dënnschichtoflagerung a fortgeschrattene Beschichtungsprozesser erfuerderlech sinn.
D'Produktioun follegt engem streng kontrolléierten Vakuum-baséierten Workflow fir eng extrem héich Rengheet a Materialkonsistenz ze garantéieren:
●Auswiel vu Réistoffer: Nëmme zertifizéiert elektrolytesch Kupferkatoden (≥99,99%) ginn als Ausgangsmaterial benotzt.
● Vakuumschmëlzen: Induktiounsschmëlzen ënner héijem Vakuum oder Inertatmosphär miniméiert Sauerstoffopnam a flüchteg Ongereimtheeten.
● Goss & Raffinéierung: Kontrolléiert direktional Erstarrung produzéiert Barren mat homogener Zesummesetzung a minimaler Segregatioun.
● Waarmveraarbechtung: Schmiedung oder Waarmpressung erreecht eng bal theoretesch Dicht an eng raffinéiert Kärenstruktur.
● Präzisiounsbearbeitung: CNC-Fräsen a Schleifen produzéieren präzis quadratesch Dimensiounen mat flaacher, paralleler Uewerfläch.
● Uewerflächenveraarbechtung: Méistufeg Poléierung bitt e spigelähnlecht Finish, dat fir de Gebrauch a proppere Raim gëeegent ass.
●Optional Bindung: Indium- oder Elastomerbindung op Molybdän-/Kupfer-Réckplacke fir thermesch Gestioun verfügbar.
● Schlussreinigung & Verpackung: Ultraschallreinigung an ultra-reinem Waasser, gefollegt vu Vakuumversiegelung an duebelschichtege propperen Täsch.
Qualitéitskontrollsystem
● Vollstänneg Verfolgbarkeet vun der rauer Kathodelot bis zum fäerdegen Zil
● Materialzertifikater a Testberichter ginn mat all Liwwerung geliwwert
● Späicherung vun Archivprouwen ≥3 Joer fir d'Verifizéierung duerch Drëttpersounen (SGS, BV, etc.)
● 100% Inspektioun vu kritesche Parameteren:
• Rengheet an Ongereinheeten (GDMS/ICP-MS Analyse; typesche Sauerstoff <10 ppm)
• Dichtmessung (Archimedes-Method; ≥99,5%)
• Käregréisst a Mikrostruktur (metallographesch Untersuchung)
• Dimensiounsgenauegkeet (CMM; Flaachheet ≤0,05 mm typesch)
• Uewerflächenrauheet a Mängel (Profilometer + visuell Inspektioun)
● Intern Spezifikatioune iwwerschreiden d'USTM F68 Ufuerderungen. Typesch Eegeschaften: Wärmeleitfäegkeet >390 W/m·K, Elektresche Widderstand <1,7 μΩ·cm, Konsequent Sputterquote a Filmqualitéit.
● Prozesser, déi mat Cleanrooms kompatibel sinn, an eng ISO 9001:2015 zertifizéiert Anlag garantéieren, datt all Zil den usprochsvollen Ufuerderunge vu modernen PVD-Applikatiounen entsprécht.










