Héichreine Kupfer-Samschinnen-Sputterziler (4N-6N)
Video
Sputterziel aus héichreinem Kupfer fir d'Samschinn – Prozess- a Qualitéitssécherungserklärung
Eis Kupfer-Samleschinn-Ziler sinn speziell fir groussflächeg a groussvolumeneg kierperlech Dampfoflagerung entwéckelt, wou eng eenheetlech Beschichtung iwwer verlängert Längt entscheedend ass.
Schlësselprozessfeatures
D'Produktioun benotzt fortgeschratt metallurgesch a Bearbechtungstechniken fir eng konsequent Leeschtung ze liwweren:
●Ausgangsmaterial: Premium elektrolytesch Kupferkathoden mat verifizéierter ultra-héijer Rengheet déngen als Basis.
● Vakuumraffinéierung: Verschidde Vakuumschmëlzstufen entfernen gasfërmeg a metallesch Ongereinheeten, fir 4N-6N-Niveauen z'erreechen.
● Kontinuéierlecht Goss: Kontrolléiert waarm Extrusioun oder Kontinuéierlecht Goss produzéiert laang, dicht Billets mat homogener Struktur.
● Waarmveraarbechtung: Schmiedung a Walzung verfeineren d'Käregréisst an erreechen bal déi voll theoretesch Dicht.
● Präzisiounsschneiden & -bearbechtung: CNC-Sägen a Fräsen erstellen präzis rechteckeg Dimensiounen mat parallele Flächen.
● Uewerflächenvirbereedung: Méistufeg Schleifen a Poléieren produzéieren propper, defektfräi Sputteroberflächen.
●Verbindungsoptiounen: Indium- oder elastomer Verbindung bei niddreger Temperatur op Edelstahl- oder Molybdän-Traktiounsplacke verfügbar.
● Verpackung am Propperraum: Déi lescht Ultraschallreinigung an eng duebel Vakuumversiegelung garantéieren eng kontaminatiounsfräi Liwwerung.
Qualitéitskontrollsystem
● Komplett Verfollegbarkeet vun der Kathodenquell bis zum fäerdege Sammlerschinnenziel
● Vollstänneg Materialzertifizéierung a Testberichter ginn mat all Eenheet geliwwert
● Archivproben ≥3 Joer fir onofhängeg Verifizéierung gespäichert (SGS, BV, etc.)
● 100% Inspektioun vun de wesentleche Parameteren:
• Rengheetsverifizéierung (GDMS/ICP-Analyse; Sauerstoff typescherweis <5 ppm)
• Dichtprüfung (≥99,5% theoretesch)
• Evaluatioun vun der Kärenstruktur (Metallographie)
• Dimensiounsgenauegkeet (CMM; Parallelitéit ≤0,1 mm typesch)
• Uewerflächenqualitéit a Rauheet (Profilometer + Inspektioun vum Reinraum)
● Intern Spezifikatioune iwwerschreiden d'ASTM F68 Normen. Typesch Charakteristiken: Wärmeleitfäegkeet >395 W/m·K, konsequent lichtbogenfräit Sputterverhalen, héich Oflagerungsraten a Magnetronsystemer.











